アドヒージョン株式会社　代表取締役社長
河合　晃 （かわい　あきら）

【学位・大学役職】

博士（工学）
国立大学法人 長岡技術科学大学　名誉教授

【略歴】

長岡技術科学大学工学部電子機器工学課程卒業
長岡技術科学大学工学研究科修士課程修了
三菱電機株式会社入社　ＬＳＩ研究所勤務
高集積半導体集積回路（ＬＳＩ）の基礎研究・試作・量産移管業務
ナノリソグラフィー・ナノ計測技術・表面界面制御の要素技術開発業務を担当
三菱電機株式会社　１級主員
長岡技術科学大学大学院博士後期課程入学（社会人博士コース）
三菱電機株式会社　主事
同大学　同大学院　修了。博士（工学）
三菱電機株式会社退職
長岡技術科学大学 工学部電気系勤務　助教授
文部省在外研究員（短期）　Sussex大学（英国）
博士後期課程主指導教官資格認定
長岡技術科学大学　工学部電気系勤務　准教授
長岡技術科学大学　テクノインキュベーションセンター（NTIC)　副センター長兼務
長岡技術科学大学　代議員（准教授・講師）
長岡技術科学大学　教授
研究成果活用企業（大学ベンチャー企業）アドヒージョン株式会社を設立　代表取締役社長
長岡技術科学大学　大学院　教授
長岡技術科学大学　名誉教授
現在に至る。

【免許等】

• 危険物乙第４類取扱者
• 特定化学物質等作業主任者
• 有機溶剤作業主任者
• 高等学校教諭一級免許状「工業」

【専門分野・研究歴】

■ナノ・マイクロシステム

微小液滴制御用マイクロチャネル素子、カンチレバーセンサー、ナノメニスカス陽極酸化デバイス、電荷ストレージデバイスナノ・マイクロ計測制御技術、マイクロ発電デバイス、マイクロ燃料電池デバイス、うなり振動法による低周波振動検出システム、マイクロバブルメモリ

■プローブ顕微鏡技術

微細パターンの直接剥離試験(Direct Peeling by AFM Tip)技術、ポリマー中への溶液浸透解析技術、カンチレバーセンサ、微粒子凝集性解析、吸着水解析、周期パターン摩擦検出法、表面自由エネルギー成分解析、液中ナノバブル・ナノ液滴解析法、SNOM法表面解析装置

■微細加工技術

サイドウォール型パターン形成法、高分子集合体マニピュレーション、ナノメニスカス陽極酸化法、多段階異方性エッチング法、局所帯電、超解像技術、位相シフト露光技術、薄膜コーティング技術、薄膜乾燥技術、高機能メッキ技術、マイクロ陽極酸化技術

■ナノスケール計測・制御

表面オゾンUVクリーンシステム、多角形プリズムFT－IR装置、ATR-Auプラズモン解析装置、液体メニスカス解析装置、エキソ電子検出

■表面界面制御技術

表面エネルギーバランスモデル、微小液滴ダイナミクス、表面帯電制御、インピーダンス法による接着層解析、エキソ電子法、薄膜コート法による応力分布解析法、VFパターン解析、多角形プリズム式FT-IR法、QCM法による単分子膜解析、液滴形状制御、粘着テープ剥離

■電子材料・フォトポリマー材料技術

Ta2O5膜,ITO膜,TiO2膜などの機能性無機材料、SiCなどの半導体材料、高分子集合体の凝集制御、レジストパターン内のナノ空間制御、高コントラスト型レジスト材料開発、高分子膜の乾燥メカニズム、アルカリ水溶液の浸透膨潤メカニズム解析、レジストパターンの表面硬化層形成、高分子表面の相互作用引力解析、レジストパターンのヤング率解析法、プラズマ重合法によるHMDSO膜の形成、ラインエッジラフネス(LER)低減技術

【受賞】

• Photopolymer Science and Technology Award (CPST Comittee 2005)
• 進歩賞（1999年度・日本接着学会)
• 論文賞（2002年度・日本接着学会）
• ベストポスター賞（2002年度・日本接着学会）
• ベストポスター賞（2005年度・日本接着学会）
• 所長表彰（三菱電機株式会社　在職時）
• 優秀特許表彰（三菱電機株式会社　在職時）

【研究業績】

著書

39冊

原著論文

166報

総説

73報

国際学会

124件

特許

登録13件、公開特許98件、国際特許11件

国内学会

212件

講演会

273件

【所属学会】

応用物理学会、日本接着学会

【国際連携】

• 国際学会（SMTV11),Sanjo,Niigataの大会準備運営委員（1993）
• 英国SUSSEX大学　在外研究員（海外インターンシップの導入準備）
• ダルムシュタット工科大学（ドイツ）の交換留学生受け入れ（1995）
• スーパー連携大学院構想　中国深浅および北欧での研究教育状況視察
• ニューヨーク州立大学アルバニー校との連携準備

【海外訪問国(都市)】

・アメリカ合衆国（サンフランシスコ、L.A.、サンノゼ、サンディエゴ、アトランタ、ニューヨーク、アルバニー、ボストン、ハワイ）

・イギリス（ロンドン、ブライトン、ケンブリッジ、グリニッジ、ポーツマス、ハースティング）

・フランス（パリ）

・イタリア（ローマ）

・スイス（チューリッヒ、ベルン、ジュネーブ、ローザンヌ、ツェルマット）

・ドイツ（イエナ、フランクフルト、ケルン、ボン、ワイマール、ライプツイヒ）

・ベルギー（オーステン、ブリュッセル）

・オーストリア（ウィーン）

・デンマーク（コペンハーゲン）

・フィンランド（ヘルシンキ、アールト）

・スウェーデン（ルンド）

・オーストラリア（シドニー）

・中国（北京、香港、深セン、大連）

・台湾（台北）

・韓国（ソウル、水原）